氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式
2024.01.11
清洗
泄漏探測(cè)器沒有氦進(jìn)入，但有一定的泄漏率指示，長(zhǎng)期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時(shí)又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過(guò)濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。
氦氣底部高度：
1、被檢件密封不良，造成檢漏口入口壓力大，質(zhì)譜室真空度低。
2.在被檢物品中，氦很難在短時(shí)間內(nèi)清除。
3、被檢件重新密封。
4.使用零位調(diào)節(jié)功能檢測(cè)泄漏。
氦質(zhì)譜檢漏儀的較小可檢漏率（靈敏度），指的是在檢漏裝置在處于一個(gè)較佳的工作條件下（示漏氣體采用的是一個(gè)大氣壓的純氦），做“動(dòng)態(tài)檢漏”時(shí)能檢出的較小漏孔的漏率。
1、較佳工作條件。
指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少，且沒有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。
2、動(dòng)態(tài)檢漏。
指不用累積法進(jìn)行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進(jìn)行抽真空，裝置的反應(yīng)時(shí)長(zhǎng)小于3s，3s當(dāng)中的抽氣系統(tǒng)的時(shí)間常數(shù)是小于一秒的；
3、較小可檢。
指其信號(hào)是本底噪聲的兩倍；
4、漏孔的漏率。
指干燥空氣（100kPa的壓力）經(jīng)漏孔通向真空端（遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于100kPa的壓力）的漏率。
對(duì)氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀，為表征這種反應(yīng)特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質(zhì)譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號(hào)與裝置噪聲比為一或二時(shí)，當(dāng)中氦的濃度。
